產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎型)

  • 產(chǎn)品型號:CY-PLZ180-III-DC-Q
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過(guò)程中無(wú)高溫,不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學(xué)習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學(xué)習使用。設備體積小巧造型美觀(guān),是實(shí)驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
詳情介紹:

技術(shù)參數:

產(chǎn)品名稱(chēng)

三靶等離子濺射鍍膜儀(基礎型)

產(chǎn)品型號

CY-PLZ180-III-DC-Q

樣 品 臺

尺寸

100mm

到靶面距離

20~35mm高度可調

等離子濺射靶

數量

2英寸 x3   

冷卻方式

自然冷卻   

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 200mm    

觀(guān)察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開(kāi)啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進(jìn)氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統

真空泵類(lèi)型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s4m3/h

極限真空度

1Pa

真空測量

電阻真空規

其  他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機功率

1.5kW

整機尺寸

570mm X 450mm X550mm

整機重量

30kg




豫公網(wǎng)安備 41019702002438號