產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVH300-III-HHH-SS
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應用領(lǐng)域: 金屬和介電膜 薄膜傳感器的制造 光學(xué)元件 納米與微電子 太陽(yáng)能電池
詳情介紹:

三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀,設備采用前開(kāi)門(mén)式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿(mǎn)足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶(hù)樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過(guò)觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無(wú)油的高真空的環(huán)境;真空系統內含有完善的氣動(dòng)閥系統,用戶(hù)可通過(guò)觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。


 三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀詳情介紹:

 本設備的蒸發(fā)源共三組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實(shí)現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發(fā)源,不會(huì )導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實(shí)現了水電分離,有力的保證了用戶(hù)的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨立操作,在盡可能方便用戶(hù)的同時(shí)規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優(yōu)越,是實(shí)驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的必備之選。

 三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應用領(lǐng)域:

金屬和介電膜

薄膜傳感器的制造

光學(xué)元件

納米與微電子

太陽(yáng)能電池

  三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數:

產(chǎn)品名稱(chēng)

三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EVH300-III-HHH-SS

樣品臺

外形尺寸

直徑φ150mm

可調溫度

500

熱蒸發(fā)源

金屬蒸發(fā)源鎢舟3個(gè)

蒸發(fā)電源

每個(gè)蒸發(fā)源配一組獨立電源;三個(gè)蒸發(fā)源可同時(shí)共蒸

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ300mm,高度400mm

觀(guān)察窗口

直徑φ100mm

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

開(kāi)啟方式

前開(kāi)門(mén)式

膜厚測量

晶體膜厚測量?jì)x(也可選膜厚控制儀)

真空系統

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復合真空計(電離規+電阻規)

系統真空

5×10-4Pa

控制系統

CYKY自研專(zhuān)業(yè)級控制器

其他參數

供電電源

AC380V,50Hz

整機尺寸

1000mm×800mm×1500mm

整機功率

7KW

整機重量

350kg


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號