產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):半導體薄膜電子束蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EBH500-SS
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
電子束蒸發(fā)方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料
詳情介紹:

該設備以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜.


電子束蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數:

產(chǎn)品名稱(chēng)

電子束蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EBH500-SS

樣品臺

外形尺寸

<150mm,樣品臺可旋轉

可調溫度

500

電子槍

新型電子槍?zhuān)?/span>6孔坩堝

加熱燈

4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明

真空腔體

腔體尺寸

Φ500*H500mm

觀(guān)察窗口

直徑φ100mm

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

開(kāi)啟方式

前開(kāi)門(mén)式

膜厚測量

采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監控,涂層厚度不均勻度小于6%。

真空系統

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復合真空計(電離規+電阻規)

系統真空

5×10-5Pa

水冷系統

水壓<2.5bar 水壓監測

加熱燈

4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明

電極接口

2路金屬蒸發(fā)電極接口

控制系統

CYKY自研專(zhuān)業(yè)級控制器

其他參數

供電電源

AC380V,50Hz

整機尺寸

1000mm×800mm×1500mm

整機功率

20KW

整機重量

350kg

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號