產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):多源真空蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVH500-VIII-HO-SS
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
高真空蒸發(fā)鍍膜儀還適用于對氧敏感的金屬薄膜(如Ti、Al、Au等)的蒸鍍,也適用于各種氧化物材料的蒸鍍
詳情介紹:

本設備為多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀,設備采用前開(kāi)門(mén)式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿(mǎn)足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶(hù)樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱及升降,所有操作均通過(guò)觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無(wú)油的高真空的環(huán)境;真空系統內含有完善的氣動(dòng)閥系統,用戶(hù)可通過(guò)觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

本設備的蒸發(fā)源共兩組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可*大支持300A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實(shí)現多種難熔金屬的蒸鍍。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實(shí)現了水電分離,有力的保證了用戶(hù)的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨立操作,在盡可能方便用戶(hù)的同時(shí)規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優(yōu)越,是實(shí)驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的必備之選

技術(shù)參數:

多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀

樣品臺

尺寸

φ150mm樣品

高度

上下150mm可調

蒸發(fā)源

數量

鎢舟x2

真空腔體

 

腔體尺寸

φ500x700mm

觀(guān)察窗口

前置φ100mm含遮光片

腔體材料

304不銹鋼

開(kāi)啟方式

前開(kāi)門(mén)式

膜厚控制

晶振式膜厚測量?jì)x,可選多通道膜厚控制儀

真空系統

 

 

 

 

前級泵

雙極旋片泵

抽氣接口

KF16

次級泵

渦輪分子泵

抽氣接口

ISO160

真空測量

電阻+電離 復合真空規

排氣速率

機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

流量計

可選一路質(zhì)量流量計 500sccm Ar

控制系統

PLC自動(dòng)控制  操作界面:觸控屏+操作面板

 

其他

 

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

1200mm X 900mm X 1500mm

整機重量

500kg

整機功率

5kW

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號