產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):不銹鋼腔體勻膠機

  • 產(chǎn)品型號:CY-SPC8-SS
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
勻膠機是一種用于制備薄膜的儀器,廣泛應用于材料學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域。它的主要工作原理是在高速旋轉的基片上,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,從而制備出均勻、致密、厚度可調的薄膜
詳情介紹:
不銹鋼腔體勻膠機是一種用于制備薄膜的儀器,廣泛應用于材料學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域。它的主要工作原理是在高速旋轉的基片上,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,從而制備出均勻、致密、厚度可調的薄膜。不銹鋼腔體勻膠機被認為是制備高質(zhì)量樣品的重要工具之一。
勻膠機主要由基座、旋轉盤(pán)、傳動(dòng)裝置、抽氣裝置、注解系統和數顯溫控器等多個(gè)部分組成。其制備過(guò)程可以分為以下步驟:將溶液放在旋轉盤(pán)上;啟動(dòng)旋轉盤(pán)進(jìn)行離心作用;控制旋轉速度和時(shí)間使其形成想要厚度的薄膜;*后利用抽氣裝置去除涂層表面的余膠。
使用時(shí),勻膠機需要準備一定數量的所需材料的溶液或混合物,通常使用有機溶劑或水作為稀釋劑,并加入表面活性劑以改善黏度和表面張力?;旌衔锏呐浞綉摳鶕璞∧さ幕瘜W(xué)性質(zhì)和厚度來(lái)確定。
此外,不銹鋼腔體勻膠機采用先進(jìn)的精密電機,其轉速能達到很高,例如10000轉/分,這有效地保障了成膜的均勻性。同時(shí),它可能采用觸控屏控制,可以預設勻膠曲線(xiàn),從而大大簡(jiǎn)化了使用過(guò)程并降低了學(xué)習成本。
請注意,不同的不銹鋼腔體勻膠機可能有不同的特點(diǎn)和功能,因此在具體選擇和使用時(shí),建議參考相關(guān)產(chǎn)品的說(shuō)明書(shū)或咨詢(xún)專(zhuān)業(yè)人士。
不銹鋼腔體勻膠機的主要用途是將液態(tài)或膠體材料均勻涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上,形成薄膜。這種設備廣泛應用于各種領(lǐng)域,包括但不限于光刻膠旋涂、生物培養基制作以及溶膠凝膠法制作高分子薄膜等。
具體來(lái)說(shuō),不銹鋼腔體勻膠機通過(guò)高速旋轉基片,利用離心力使膠液均勻地分布在基片表面,形成一層均勻、致密的薄膜。這種薄膜的厚度和均勻性可以通過(guò)控制旋轉速度和時(shí)間來(lái)調節,以滿(mǎn)足不同應用的需求。
在光刻膠旋涂中,不銹鋼腔體勻膠機用于在硅片或其他基片上制備光刻膠薄膜,這是制造半導體器件和集成電路的關(guān)鍵步驟。在生物培養基制作中,勻膠機則用于制備均勻的生物培養基薄膜,用于細胞培養和組織工程等研究。此外,在溶膠凝膠法制作高分子薄膜時(shí),不銹鋼腔體勻膠機同樣發(fā)揮著(zhù)重要作用。
總的來(lái)說(shuō),不銹鋼腔體勻膠機在材料科學(xué)、半導體制造、生物學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域中都有廣泛的應用,為科研和生產(chǎn)提供了重要的技術(shù)支持。

技術(shù)參數:

供電電壓

AC220V  50Hz

轉速

-3000~3000 rpm

2000 rpm/S

轉速分辨率

1rpm

轉速精度

±1 rpm(50~3000 rpm)

單步時(shí)間

3000s

基片尺寸

基片尺寸規格:4/6/8 寸標準晶圓,固定 300mm 金屬 frame,晶圓厚度:80-100um

腔體材質(zhì)

上等不銹鋼,可拆卸組合式 CUP,方便清洗

自動(dòng)擺臂

擺臂速度:1~30°/S;材質(zhì):鋁合金;數量:1

管路

1.管路數量:4

2.自動(dòng)擺臂:1 路 N2,1 路高壓水,1 路膠;固定臂:1 路高壓水

3.高壓水壓力范圍:1~12Mpa(10-120bar)

4.水壓大小可以通過(guò)通信協(xié)議設置

5.氮氣流量大小可通過(guò)通信協(xié)議設置

滴膠方式

膠粘度:40~60cp; 供膠方式:氣動(dòng)膠泵(帶液位檢測)  補液方式:手動(dòng)補液 .

載物盤(pán)

數量:1

材質(zhì): 微孔盤(pán) ,載物盤(pán)具有升降功能

尺寸:適合 4/6/8 寸標準晶圓+300mm 金屬 frame

基片固定方式:真空吸附方式+夾持

真空檢測:數字式壓力傳感器

控制系統

控制系統:采用 PLC 控制 ,模塊化 無(wú)需觸摸屏。

程序:100 組,每組 100 步,單步*大 3000.0S,時(shí)間分辨率:0.1S

程序可保存、調用、修改、刪除

設置加密權限:分別為設備操作員、技術(shù)員、管理員、 廠(chǎng)商

信號塔類(lèi)型:紅、黃、綠 3

與主設備機器人對接(**互鎖)

程序:包括原點(diǎn)定位+頂升+兩路高壓控制+漏液報警+軟件配合

**保護

有防漏電斷路保護裝置

底部裝有漏液傳感器,機臺漏液會(huì )有報警提示

有可靠的接地裝置及緊急停止和報警系統

真空不足報警,異常報警的情況下將嚴禁運行設備

是否支持定制

是的


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