產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):三源高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVH300-III-HHH-SS
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應用于金屬和介電膜,薄膜傳感器的制造,光學(xué)元件,納米與微電子,太陽(yáng)能電池.
詳情介紹:

本設備為三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀,設備采用前開(kāi)門(mén)式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿(mǎn)足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶(hù)樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、水冷,所有操作均通過(guò)觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無(wú)油的高真空的環(huán)境;真空系統內含有完善的氣動(dòng)閥系統,用戶(hù)可通過(guò)觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

詳情介紹:

本設備的蒸發(fā)源共三組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,加熱溫度*高可達1800℃,可實(shí)現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發(fā)源,不會(huì )導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實(shí)現了水電分離,有力的保證了用戶(hù)的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨立操作,在盡可能方便用戶(hù)的同時(shí)規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優(yōu)越,是實(shí)驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的必備之選。

三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應用領(lǐng)域:

金屬和介電膜,薄膜傳感器的制造,光學(xué)元件,納米與微電子,太陽(yáng)能電池.

真空蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數:

產(chǎn)品名稱(chēng)

三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EVH300-III-HHH-SS

樣品臺

尺寸

*大支持φ150mm樣品

功能

可旋轉,冷卻

蒸發(fā)源

數量

鎢舟x3

電源

每個(gè)蒸發(fā)源配一組獨立電源;三個(gè)蒸發(fā)源共三組獨立電源

真空腔體

腔體尺寸

φ300x400mm

觀(guān)察窗口

前置φ100mm

腔體材料

304不銹鋼

開(kāi)啟方式

前開(kāi)門(mén)式

膜厚控制(選配)

晶振式膜厚測量?jì)x,可選多通道膜厚控制儀

真空系統

前級泵

雙極旋片泵

抽氣接口

KF16

次級泵

渦輪分子泵

抽氣接口

ISO160

真空測量

電阻+電離,復合真空規

排氣速率

機械泵1.1L/s,分子泵 600L/s

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

控制系統

PLC自動(dòng)控制

操作界面:觸控屏+操作面板

(觸摸屏可控制沉積過(guò)程和快速數據輸入;用戶(hù)友好 PLC 軟件系統,可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò )更新)

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

1200mm X 900mm X 1650mm

整機功率

5kW

整機重量

500kg

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號