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旋轉勻膠機功能介紹

日期:2024-07-18 17:08
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摘要:
旋轉勻膠機功能介紹
  旋轉勻膠機是一種用于工程與技術(shù)科學(xué)基礎學(xué)科領(lǐng)域的計量?jì)x器,于2014年12月12日啟用。
技術(shù)指標
  旋轉勻膠機可以自動(dòng)定量滴加光刻膠(支持的光刻膠年度在10cp-500cp),也可以實(shí)驗手動(dòng)滴加光刻膠;勻膠的時(shí)間可以在0.1s到999s范圍內調整且連續;滿(mǎn)足旋涂3mm到150mm直徑范圍的樣品;穩定的轉速范圍可在50轉/分到8000轉/分,加速范圍從50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均勻性在2%(Resist AZ5214E,1um)。
主要功能
  旋轉勻膠機常用于各種溶膠凝膠實(shí)驗中的薄膜制作,需要旋涂的基片和的旋涂膠液間的粘滯系數不同,厚度也會(huì )有所不同,同時(shí)旋涂的時(shí)間和轉速也會(huì )對厚度有不同的影響。

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