產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-EVH600R-II-HH-SS
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹:
卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類(lèi)的材料的薄膜生長(cháng),大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等
詳情介紹:

    本儀器是一種高真空蒸發(fā)鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發(fā)源,并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調的。 該儀器可以穩定地蒸發(fā)金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀(guān)察窗,因此可以看到涂層過(guò)程。 采用分子泵系統的**真空10E-4Pa,可有效提高涂層質(zhì)量,并能滿(mǎn)足大多數蒸發(fā)涂層實(shí)驗所需的真空環(huán)境。

高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途:

卷繞式蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類(lèi)的材料的薄膜生長(cháng),大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等。

高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數:

產(chǎn)品名稱(chēng)

卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EVH600R-II-HH-SS

供電電壓

單相,AC220V, 50Hz

真空腔體

內壁處理

電解拋光

腔體材料

304不銹鋼

腔體尺寸

臥式Φ600mm×500mm

觀(guān)察窗口

前置φ100mm含遮光片

開(kāi)啟方式

前開(kāi)門(mén)式

卷繞系統

收放卷

Φ200mmx300mm

速度

60m/min(可調)

張緊

可調

蒸發(fā)源和電源

部件數量

1套金屬蒸發(fā)源,帶獨立擋板

電極電壓

10V

送絲速度

3m/min

蒸發(fā)電流

功率2KW,*大電流為160A,調節精度為1A

蒸發(fā)器

鎢舟,1個(gè)

真空系統

前級泵

雙極旋片泵,抽速1.1L/s

渦輪分子泵

抽速:600L/s;

額定轉速:24000rpm;

啟動(dòng)時(shí)間:≦4.5min

冷卻方式:水冷+空冷

進(jìn)氣接口:ISO150

出氣接口:KF40

真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar)

抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時(shí)間少于40分鐘

復合真空計

測量范圍 105Pa~10-5Pa

膜厚監測儀

測量精度

0.1?

測量速度

100ms-1s/

可設置測量范圍

500000?(鋁)

標準傳感器晶體

6MHz

適用晶體尺寸

Φ14mm (標配10)

空壓機

作用于電控氣動(dòng)閥

水冷機

冷卻水溫度:≦37℃

流速:10L/min

功率:0.1KW

冷卻功率:50W/℃

水箱容量:9L

控制系統

CYKY自研專(zhuān)業(yè)級控制器

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號